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正确测量罗茨真空机组的真空漏率的技巧

  罗茨真空机组的真空漏率测量的办法是有很多种的,相信大家对此都不是特别的了解,为了保证它的正常使用,下面就来教大家几招测量它真空漏率的技巧:
  1、加压条件下容器漏率的测定
  在加压条件下测童罗茨真空机组的容器漏率的方法有:气泡法、超声法、气敏半导体检漏仪法、氨检漏法、卤素检漏仪法、氮质谱检漏仪法等。
  2、真空条件下容器漏率的测定
  ①利用接人真空容器的真空规、离子泵及残气分析质谱计来测定容器的漏率。
  ②可以选用流盆测量、压力测量、卤素检漏仪以及氮质谱检漏仪等方法来测全漏率。
  3、密封件的无损检漏
  ①尽量利用罗茨真空机组的密封件上可用来指示密封器件内部压力和示漏物质分压力的规管和残气分析质谱计等进行检漏。
  ②有些原来不是测量压力的装置,如:电子管、显像管等,若改换馈电方式,将其电极接成电离规的方式,测全出管内离子流的变化,便可知管内压力的变化率。大批量生产这类器件时,可以通过校准的方法把离子流的变化率直接换算成漏率。
  ③如果罗茨真空机组的密封件内部具有可作为示漏的物质时,采用动态法或静态法对漏到外面的示漏物质进行检测,就可测出漏孔来。通常这类密封件内部的示漏气体的分压力要比采用背压法时的压力为高。因此,检漏灵敏度高,费用低。
  ④背压法检漏适用于成批生产小型密封件时的检漏,可以使用卤素检漏仪,氮质谱检漏仪,放射性同位素等检漏方法和仪器。
  关于罗茨真空机组真空漏率的测量技巧就先先容这些了,希翼对你有所帮助,如您还有其他疑问的话,欢迎来电咨询。
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